高端多通道納米激光干涉儀是精密計量、超精加工的標準測量儀器，主要應(yīng)用于高檔數(shù)控機床等高端裝備的定位精度檢測，市場長期被國外企業(yè)壟斷。在省重大科技專項支持下，成都工具研究所有限公司和四川大學(xué)開展聯(lián)合攻關(guān)，在傳統(tǒng)的單通道測量激光干涉儀基礎(chǔ)上，突破高精度激光穩(wěn)頻、電子細分及多通道干涉鏡組的測試膠合等關(guān)鍵技術(shù)，研制了具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的多通道納米激光干涉儀。該產(chǎn)品主要技術(shù)指標達到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進水平，填補了國內(nèi)空白，市場應(yīng)用前景廣闊。
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