技術(shù)特點(diǎn)： 
　　  球氣浮實(shí)現(xiàn)高精度調(diào)平；超精密手輪對準(zhǔn)調(diào)節(jié)，單片機(jī)控制,觸摸開關(guān)操作；整機(jī)精度高、性能可靠、操作方便、具有高性價比。 
 
主要技術(shù)指標(biāo)： 
★ 曝光面積：100mm×100mm； 
★ 分辨力：　 1.5μm（膠厚2μm的正膠）； 
★ 對準(zhǔn)精度：±0.8μm；　　　
★ 照明均勻性：±4%（ф100mm 范圍）； 
★ 掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X:±5mm; Y:±5mm;　θ:±6°； 
★ 掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch； 
★ 樣片尺寸：直徑ф15mm-- ф100mm、厚度0.1mm--6mm； 
★ 汞燈功率：200W（直流）； ★ 曝光方式：定時（倒計(jì)時方式）。 
 
聯(lián)系人:胡主任、唐主任 
電話:85101784、85100564   免責(zé)聲明：科技網(wǎng)發(fā)布的科技成果相關(guān)信息系根據(jù)科技成果信息提供方提供的信息內(nèi)容進(jìn)行發(fā)布。 科技網(wǎng)作為信息收集、發(fā)布平臺，僅對科技成果相關(guān)信息內(nèi)容進(jìn)行發(fā)布，不對所發(fā)布科技成果的相關(guān)信息的真實(shí)性、完整性、準(zhǔn)確性和合法性負(fù)責(zé)，不保證所發(fā)布科技成果的名稱、圖片、描述與科技成果的實(shí)際相符，也不對科技成果做任何擔(dān)保和承諾。