主要技術(shù)特點：　
　  該機采用i線紫外曝光光源，光學(xué)系統(tǒng)采用特殊的消衍射和線條陡直增強技術(shù)，采用積木錯位繩眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統(tǒng)（可同時使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚膠曝光功能，曝光設(shè)定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡便。 
　 
主要技術(shù)指標： 
★ 曝光面積：110mm×110mm； 
★ 分辨力：　  0.8～1μm（膠厚2μm正膠）； 
★ 膠厚600μm（SU8膠，據(jù)用戶工藝條件）； 
★ 對準精度：±0.6μm； 
★ 掩模尺寸：2.5inch、3inch、4inch、5inch； 
★ 樣片尺寸：直徑ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm； 
★ 照明均勻性：±3.5%(ф100mm)；　　 
★ 汞燈功率：1000W（直流）； 
★ 曝光方式：定時（倒計時方式0.1s～999.9s）。 
聯(lián)系人:胡主任、唐主任 
電話:85100564、85101784