技術特征：
●大面積一次壓?。?/P>
●自動脫模；
●由PLC控制工藝過程，可實現自主定制；
●可與接近接觸式光刻機兼容；
●友好的人機交互，觸模屏操作。主要技術指標：
● 分辯力： ≤ 15nm；
● 大功率紫外固化UV LED；
● 樣片尺寸：4 英寸(可定制)；
● 壓印面積：2英寸(可定制)；
● 模板尺寸：5 x 0.090英寸(可定制)；
● 壓印壓力：0 - 25 PSI (可升級到100 PSI)；
● 產量：< 5 分鐘/片；
● 使用方便：Step-by-step Menu；
● 應用領域廣泛。單位名稱：中國科學院光電技術研究所
單位地址：四川成都雙流西航港光電大道1號
單位網址:www.ioe.ac.cn
聯系人： 胡松、趙立新 電話/傳真：028-85100564
移動電話：13981738959 電子信箱：husong@ioe.ac.cn更多>同類資訊
推薦圖文
推薦資訊
點擊排行
(c)2005-2025 科技網 www.shannonangel.com 珠海神州網絡有限公司版權所有 All Rights Reserved
