在江蘇產(chǎn)研院/長三角國創(chuàng)中心積極推動下，江蘇集萃極限精測與系統(tǒng)控制研究所（極限精測所）與上海市龍頭企業(yè)——上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（上海精測）深入合作、強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，共同成立合資公司，專注納米級高精度氣浮平臺（UPSS）的設(shè)計開發(fā)、制造，這也是江蘇產(chǎn)研院/國創(chuàng)中心體系專業(yè)研究所與聯(lián)創(chuàng)中心企業(yè)合資成立的第一家高技術(shù)企業(yè)。

當(dāng)前，國際紛爭日益加劇、地緣政治趨于動蕩，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈面臨逆全球化、日益嚴(yán)峻的發(fā)展環(huán)境，半導(dǎo)體高端檢測設(shè)備作為產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)，盡快實現(xiàn)自主可控已成為業(yè)界共識，自主研發(fā)需求達(dá)到異常迫切的程度。江蘇產(chǎn)研院/國創(chuàng)中心積極助力對接極限精測所與上海精測，為盡快取得技術(shù)突破，雙方于2021年即啟動晶圓量測專用納米級高精度氣浮平臺（UPSS）研發(fā)項目，首臺試驗機(jī)經(jīng)過數(shù)月駐場調(diào)試和優(yōu)化迭代已通過全面測試，主要性能指標(biāo)已達(dá)到國際一線品牌水平。在此基礎(chǔ)上，經(jīng)過多輪協(xié)商溝通，極限精測所與上海精測攜手成立合資公司，專注納米級高精度氣浮平臺（UPSS）的設(shè)計開發(fā)、制造與量產(chǎn)。

納米級的高精度運動臺是半導(dǎo)體光刻設(shè)備、高精度測量和檢測設(shè)備、激光加工設(shè)備等高端裝備的核心子系統(tǒng)，負(fù)責(zé)硅片、試劑、樣品等的承載和高精密定位，運動臺對成像性能，即圖像線寬，套刻精度以及產(chǎn)率關(guān)鍵性能影響至關(guān)重要，對高端裝備整體性能的提升極其關(guān)鍵。高精度氣浮運動平臺集合了精密機(jī)械、機(jī)電、傳感器、運動控制和嵌入式軟件等技術(shù)的跨學(xué)科復(fù)雜系統(tǒng)，在半導(dǎo)體領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。經(jīng)過長時間的驗證與測試，極限精測所與上海精測合作開發(fā)的高精度氣浮平臺各類技術(shù)指標(biāo)均已達(dá)到國際先進(jìn)水平，對助力國家半導(dǎo)體高質(zhì)量發(fā)展，解決卡脖子技術(shù)問題有著重大示范意義。上海龍頭企業(yè)與江蘇研發(fā)載體的深度合作，對進(jìn)一步促進(jìn)創(chuàng)新要素在長三角區(qū)域有序流動與深度融合，有良好的示范與借鑒意義。

來源：江蘇省產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院